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比GAA更關鍵?台積電2奈米真正王牌!晶背供電BSPDN決定下一代晶片勝負?

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台積電與三星採用縮小效果最佳的直接背面接點,Intel 選電源金屬柱,三家晶背供電路線各有取捨。

台積電 2 奈米量產後,晶背供電網路(BSPDN)成為先進製程競爭關鍵:把電源線移到晶片背面,正面留給訊號線,可縮小標準單元並改善供電。相較正面供電,電流路徑可由穿越 15 層以上金屬減至約 5 層,HPC 功耗效率可提升約 15 至 20%。影片比較三種方案:埋入式電源軌道較簡單,但前段製程使用金屬有污染疑慮;Intel 的電源金屬柱避開此問題、製程較簡化;直接背面接點縮小效果最佳,卻需約 50 奈米級佈局與嚴格對位,製程最複雜。路線圖方面,台積電 A16、三星 SF2Z 採直接背面接點,Intel 18A 與 14A 採電源金屬柱;日本 Rapidus 預計 2027 年量產 2 奈米,尚無晶背供電計畫。

Chapters

  1. 0:00開場:台積電 2 奈米量產後,聚焦三種 BSPDN 方案
  2. 1:59FinFET 戰役:台積電領先,產業轉向 GAAFET 與 BSPDN
  3. 4:45BSPDN 基礎:供電移至背面,標準單元可縮至 5T
  4. 11:13BSPDN 雙重提升:3 奈米供電層數減少,功耗效率增 15–20%
  5. 13:36BPR:標準單元面積約縮 15%,但前段金屬污染成量產障礙
  6. 16:12PowerVia:Intel 以背面金屬柱省去前段電源軌道步驟
  7. 20:22DBC 微縮效益最大但對位最難;台積電 A16 採 BSPDN、Rapidus 尚無計畫
  8. 25:49結論:台積電、三星採 DBC,Intel 提升 PowerVia 良率

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