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AI晶片背後的巨人!EUV、光罩、先進封裝全掌握!獨家專訪蔡司高層!

曲博科技教室 Dr. J Class · 2026-09-15 · 19 min
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Video summary
蔡司攜手ASML推進High-NA EUV,靠NLX與DUNE攻克3D封裝檢測挑戰
AI、高效能運算與自動駕駛推升晶片需求,蔡司全球團隊揭示其從微影、光罩到先進封裝的關鍵角色。蔡司與ASML合作推進High-NA EUV,以更高解析度讓更小結構可單次曝光完成,降低多重曝光的成本與複雜度;其核心光學系統仰賴近30年EUV研發與超精密反射鏡技術。面對3D晶片與混合鍵合,傳統表面檢測已難發現內部孔洞、介面及電性缺陷,蔡司推出NLX X光量測設備檢查內部結構,並以DUNE量測、修正晶圓形貌。蔡司台灣則強調,台灣完整的設計、製造、封裝與材料生態系,正因AI需求加速創新,企業也從銷售服務據點轉向生產與研發中心。
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