AI晶片背後的巨人!EUV、光罩、先進封裝全掌握!獨家專訪蔡司高層!

曲博科技教室 Dr. J Class · 2026-09-15 · 19 min
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蔡司解析 AI 晶片需求,從 High-NA EUV 光學、光罩檢測到 3D 封裝量測,支援台灣半導體生態系。
AI、HPC 與自動駕駛推升晶片需求,蔡司全球主管指出,半導體產能持續增加、各大廠興建新晶圓廠,技術也從微縮延伸到 3D 整合與先進封裝。蔡司與 ASML 推進微影藍圖,並為 High-NA EUV 設計製造核心光學系統,透過更高解析度讓單次曝光取代部分 EUV 多重曝光;其極精密反射鏡技術累積近 30 年。面對光罩缺陷與立體結構難以從表面檢出的問題,蔡司提供光罩量測、修復驗證,以及 NLX X 光內部缺陷檢測、DUNE 晶圓形貌量測與修正。台灣主管則表示,台灣具備從人才、設計、晶圓代工到封裝的完整生態系,AI 加速創新與生產,也促使供應商在台設立生產、研發據點;蔡司將靠在地工程服務與客戶協作提升良率和生產力。
Chapters
- 0:00開場:曲博專訪蔡司團隊,談 AI 晶片與半導體供應鏈
- 1:06ZEISS 看 AI 晶片製造:資料中心擴建推升產能與先進封裝需求
- 3:22ZEISS 驅動 AI 未來:以十年產品藍圖支援晶片、光罩與 3D 檢測
- 5:04ZEISS 突破晶片微縮挑戰:量測 3D 元件對準與系統級封裝疊對
- 6:24ZEISS 與 High-NA EUV:單次曝光微縮、精密光學,以及光罩量產前驗證修復
- 11:50ZEISS 先進製程檢測挑戰:NLX 查內部缺陷、DUNE 修正晶圓形貌
- 14:47ZEISS 眼中的台灣半導體:人才、晶圓代工、先進封裝與 AI 伺服器生態系
- 15:59ZEISS 連結全球與台灣需求:企業在地研發生產,蔡司提供工程支援
- 17:59ZEISS 與台灣半導體未來:提早參與並回饋總部,加速解決客戶挑戰
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